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超纯水设备助力硅晶圆提高“纯度”

2021-10-16 11:51

  半导体材料的市场规模不算很大,但其内部材料种类繁多,单一产品市场规模小、技术要求高、子行业之间差异较大。其中硅片占比半导体材料市场销售额高达36.6%,是晶圆厂采购材料中重要的环节。

  硅材料因其具有单方向导电特性、热敏特性、光电特性、掺杂特性等优良性能,可以生长为大尺寸高纯度晶体,且储量丰富、价格低廉,故而成为全球应用广泛、重要的半导体基础材料,并发挥着重要的行业支撑作用。

  硅晶圆是硅元素进行纯化之后的一种化工材料,在制造电路的实验半导体当中,经常会使用到这种材料。目前全球半导体市场中,90%以上的芯片和传感器都是基于硅材料制造而成,广泛应用于IC、LED、MEMS、分立器件等领域。

 

 

  硅晶圆对纯度要求极高,因此对于水质也有着超高的要求,超纯水设备生产的水质可满足行业用水需求。超纯水设备采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备相结合的方式来制取超纯水,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,与传统方法相比,该设备具有以下优势:

  1、无需使用任何再生化学品进行再生。用EDI水处理过程中不需要添加任何化学品,减少了化学品运输问题,同时降低了系统运行费用。

  2、无需中和药剂。EDI膜块不会有酸碱废液产生,所以不需要酸碱中和池,一般情况下,EDI水处理系统产出的浓水完全可以回收再利用。

  3、整套系统运行成本较低。EDI水处理设备主要是消耗电量来维持系统运行,其耗电量比传统混床工艺低。

  我国是消费电子产品的生产国、出口国和消费国,在国家政策的扶持下,我国众多电子企业纷纷开发硅晶圆研发新工艺,加上超纯水设备的助力,能够保证硅晶圆产品的质量,标志着我国硅晶圆产业的发展。

 

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