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超纯水设备保障芯片生产用水纯度绰绰有余

2021-09-25 14:19

  根据中国半导体协会(CSIA)的统计,中国有1600多家本土半导体公司,全球市场份额也上升到13%。除了本地企业外,越来越多的“跨境”企业从事半导体业务。另一项统计数据显示,自今年以来,有5万多家主营业务与半导体无关的企业在中国注册了半导体业务。

  芯片相当于电子工业的“大脑”。虽然它只有指甲那么大,但数十亿纳米级晶体管应该放在芯片板上。在芯片生产中,80%以上的工艺需要化学处理,而每一种化学处理都离不开水。集成电路的集成度越高,对水质的要求就越高。因此,芯片行业对生产用水的水质有非常严格的要求,一旦水质不合格或水中含有杂质,就会降低器件的性能和产量。因此,芯片生产中需要使用超纯水。

  莱特莱德采用双反+EDI+抛光混床组合工艺:反渗透系统采用反渗透膜元件,利用反渗透原理去除水中溶解的盐、有机物、胶体和大分子。降低水质中的离子含量。EDI是结合离子交换膜技术和离子电迁移技术的超纯水制造技术,无需酸碱再生,是一种新的脱盐方法。EDI系统处理超纯水无需再生回收的化学品,运行成本低,EDI系统自动化程度高,连续运行,出水水质好且稳定,出水电阻率高≥ 15mΩ·cm。抛光混床用于超纯水处理系统的末端净化器。设计、制造和生产的半导体级混床离子交换树脂可将水中离子含量降至PPB级别,出水电阻率可达18.2mΩ·cm。保障芯片生产用水的纯度绰绰有余。

 

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